在工业真空应用中，“真空度能达到多少”是核心的问题之一。对于结构性能好的罗茨真空机组而言，这个问题的答案并非一个简单的数字，而是一个关乎物理原理、前级泵配置、工艺气体特性及制造精度的系统性科学。简单地说：单台罗茨泵本身无法创造高真空，但一个精心设计的罗茨真空机组可以。
一、核心原理
首先理解罗茨泵的工作原理：它通过一对高速、反向旋转的“8”字形转子，以非接触的方式将气体从进气口“推”到排气口。
无内压缩：罗茨泵本身对气体没有内部压缩能力，其压缩完全依赖于其出口（排气侧）的背压。
压缩比限制：罗茨泵的抽气能力由其允许压缩比（Kmax）决定。这个压缩比指的是出口压力与进口压力的比值。当出口压力过高，或进口压力过低时，压缩比会达到限制，泵将无法克服压差输送气体，效率骤降，此即“闷车”现象。
因此，一台罗茨泵的进口压力，完全取决于其出口的压力。这就是它须与前级泵组成“机组”的根本原因。
二、罗茨真空机组的真空度范围
当我们谈论“罗茨真空机组”的真空度时，我们谈论的是整个系统（罗茨泵+前级泵）的性能。
一个配置良好的标准罗茨真空机组，其稳定的工作真空度范围通常在1×10⁻²Pa至1×10⁻⁴Pa（即10⁻⁴mbar至10⁻⁶mbar）量级。
这个范围可以进一步细分为：
粗真空/低真空过渡区（10³Pa~10⁻¹Pa）：这是机组启动和开始有效工作的区域，主要依赖前级泵。
工作区间（1 Pa~1×10⁻³Pa）：在此区间，罗茨泵发挥大效能，抽速达到峰值，是绝大多数工业应用（如熔炼、干燥、浸渍）的核心区域。
真空区间（1×10⁻³Pa~1×10⁻⁴Pa及以下）：这是机组所能达到的限制，取决于前级泵的限制、机组的泄漏率和材料的出气率。
三、决定罗茨真空机组的四大关键因素
为什么不同机组的真空度会有差异？主要取决于以下四个因素：
1.前级泵的真空度——系统的“地基”
核心作用：前级泵为罗茨泵创造了一个低背压环境，是整个机组能达到多高真空度的决定性因素。
黄金法则：罗茨泵本身通常能将入口压力降低到其出口压力的1/1000到1/10000。因此，如果前级泵的1 Pa，那么罗茨机组的理论上可达10⁻⁴Pa量级；如果前级泵是限制为0.1 Pa的干泵，机组可能进入10⁻⁵Pa量级。
2.罗茨泵本身的零流量压缩比（K₀）——自身的“天赋”
定义：在零流量状态下，罗茨泵所能达到的大出口与进口压力比。这是一个衡量其“干抽”能力的核心参数。
影响：K₀值越高，意味着罗茨泵在更高压差下启动和运行的能力越强，也意味着在与相同前级泵搭配时，能达到更低的进口压力。现代罗茨泵的K₀值通常在10到100之间，高性能型号可达70以上。
3.气体的性质——不可忽视的变量
轻气体效应：对于氢气、氦气等轻质气体，罗茨泵的压缩比会显著下降。这是因为轻气体分子速度更快，更容易通过转子与壳体之间的间隙“返流”回进口端。因此，处理轻气体时，机组的真空度会低于处理空气或氮气时的水平。
4.制造精度与密封——技术的“天花板”
间隙控制：罗茨泵转子之间、转子与壳体之间存在动态间隙（通常在十分之几毫米）。这个间隙是气体返流的主要通道。制造精度越高，间隙越小且越均匀，返流气体越少，罗茨真空机组就越高。
密封技术：轴封等动密封处的泄漏率也须被严格控制。
总而言之，罗茨真空机组的真空度是一个系统性能的体现。它不是一个孤立的数字，而是一个由前级泵性能、罗茨泵的压缩比、工艺气体和制造水平共同决定的动态边界。在追求更高真空度的道路上，理解并优化整个系统的协同效应，远比单纯追求某一单个部件的性能更为重要。因此，当您询问机组的真空度时，请务必将其视为一个完整的解决方案来考量。
